p17 系列
p17 系列压电扫描台是专门为需要大通光孔径、大位移行程的应用而研发设计的二维扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现xy 轴187.5μm的扫描范围，通光孔为60×60mm，在样品精密定位、扫描显微、干涉等领域得到了广泛的应用。
特点
• 位移187.5μm
• 承载能力1kg
• 通孔尺寸：60×60mm
• 闭环重复定位精度高
• 响应速度快
应用
• 图像处理与稳定/扫描显微
• 干涉/ 计量
• 表面检测
• 晶圆定位/微操作
阶跃时间
大行程 稳定性好 响应速度快
p17系列压电扫描台为压电陶瓷驱动快速、高精度扫描台，可以实现xy轴187.5×187.5μm 的位移行程，优异的结构设计无摩擦、导向精度高、响应速度快、响应时间可达5毫秒。闭环版本采用高精度的传感反馈，与e00/e01 系列闭环控制器配套使用，具有非常高的稳定性。台体中心60×60mm 大通孔，适合工业自动化中的晶圆定位或微操作等应用。
应用实例
p17 系列压电扫描台适用于需要大行程高精度的应用，该产品已经成功应用于半导体测试、表面结构分析、显微成像等领域。与芯明天压电物镜定位器配套用于晶圆定位，可带动晶圆做xy 轴187.5μm 行程范围的纳米级精密定位。
技术参数
型号
s-闭环
k-开环
p17.xy200s
p17.xy200k
单位
运动自由度
x、y
行程范围（0~120v）
150/轴
μm
行程范围（0~150v）
187.5/轴
μm
传感器类型
sgs/-
通孔尺寸
60×60
mm
闭/开环分辨率
8/5
nm
闭环线性度
0.1/-
%f.s
闭环重复定位精度
0.05/-
%f.s
俯仰/偏航/滚动
<15
μrad
推/拉力
40/15
n
运动方向刚度
x0.2/y0.2
n/μm
空载谐振频率
x240/y400
hz
闭/开环空载阶跃时间
30/5
ms
闭环空载
工作频率
10%行程
50
hz
100%行程
10
承载能力
1
kg
静电容量
3.6/轴
μf
材质
钢、铝
重量
660
g
是专门为需要大通光孔径、大位移行程的应用而研发设计的二维扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现xy 轴187.5μm的扫描范围，通光孔为60×60mm，在样品精密定位、扫描显微、干涉等领域得到了广泛的应用。
特点
• 位移187.5μm
• 承载能力1kg
• 通孔尺寸：60×60mm
• 闭环重复定位精度高
• 响应速度快
应用
• 图像处理与稳定/扫描显微
• 干涉/ 计量
• 表面检测
• 晶圆定位/微操作
阶跃时间
大行程 稳定性好 响应速度快
p17系列压电扫描台为压电陶瓷驱动快速、高精度扫描台，可以实现xy轴187.5×187.5μm 的位移行程，优异的结构设计无摩擦、导向精度高、响应速度快、响应时间可达5毫秒。闭环版本采用高精度的传感反馈，与e00/e01 系列闭环控制器配套使用，具有非常高的稳定性。台体中心60×60mm 大通孔，适合工业自动化中的晶圆定位或微操作等应用。
应用实例
p17 系列压电扫描台适用于需要大行程高精度的应用，该产品已经成功应用于半导体测试、表面结构分析、显微成像等领域。与芯明天压电物镜定位器配套用于晶圆定位，可带动晶圆做xy 轴187.5μm 行程范围的纳米级精密定位。
技术参数
型号
s-闭环
k-开环
p17.xy200s
p17.xy200k
单位
运动自由度
x、y
行程范围（0~120v）
150/轴
μm
行程范围（0~150v）
187.5/轴
μm
传感器类型
sgs/-
通孔尺寸
60×60
mm
闭/开环分辨率
8/5
nm
闭环线性度
0.1/-
%f.s
闭环重复定位精度
0.05/-
%f.s
俯仰/偏航/滚动
<15
μrad
推/拉力
40/15
n
运动方向刚度
x0.2/y0.2
n/μm
空载谐振频率
x240/y400
hz
闭/开环空载阶跃时间
30/5
ms
闭环空载
工作频率
10%行程
50
hz
100%行程
10
承载能力
1
kg
静电容量
3.6/轴
μf
材质
钢、铝
重量
660
g
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